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本发明提供一种反射部件及工艺腔室，反射部件包括反射层结构，反射层结构包括至少一个反射层组，各反射层组均包括层叠设置的第一透光介质层和第二透光介质层，且第一透光介质层的折射率和第二透光介质层的折射率不同；第一透光介质层用于供光波入射并反射光波...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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