下载混合有机镓源选择区域生长铟镓砷磷多量子阱的方法的技术资料

文档序号:3315244

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本发明混合有机镓源选择区域生长铟镓砷磷多量子阱的方法,是在选择生长铟镓砷磷多量子阱时,采用三乙基镓和三甲基铟生长限制层和垒,采用三甲基镓和三甲基铟生长阱;采用这种方法生长的量子阱材料,在选择生长区域,阱区有大的应变,而在非选择生长区域,阱区...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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