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一种波长可调谐分布布拉格反射激光器的制作方法，包括如下步骤：１）在ｎ型磷化铟衬底上外延多量子阱层结构；２）掩膜光刻腐蚀掉有源区以外的多量子阱层；３）外延铟镓砷磷体材料和一层磷化铟层；４）淀积一层介质膜，掩膜开光栅窗口，选择腐蚀磷化铟层；５）...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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