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窗口隔离型极小孔半导体激光器和制作方法技术
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文档序号:3314784
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一种窗口隔离型极小孔激光器,其中包括:一衬底;一N面电极,该N面电极制作在衬底的底面;一下限制层,该下限制层制作在衬底的上面;一有源区,该有源区制作在下限制层的上面;在该有源区上形成有限制出光的小孔;一上限制层,该上限制层制作在有源区的上面...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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