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一种半导体激光器芯片频率响应的测量方法，包括如下步骤：制作微带线；制作测试和校准用金属底板；将微带线焊接在金属底板上，并焊上与矢量网络分析仪匹配的射频同轴连接器和匹配电阻，做成测试夹具和校准夹具；把焊在热沉上的芯片焊在测量夹具上制成被测器件...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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