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本发明涉及一种晶体硅反应炉真空控制系统及控制方法，系统包括缓冲罐、用于向缓冲罐输送气体的通气机构、用于定量抽取缓冲罐内气体的真空泵、用于检测缓冲罐内的真空值的真空检测部件以及控制器，缓冲罐与通气机构、真空泵、晶体硅反应炉均连通，真空检测部件...
该专利属于赛姆柯（苏州）智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛姆柯（苏州）智能科技有限公司授权不得商用。

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