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本发明公开一种电容式微机械超声换能器及其制作方法，涉及超声换能器技术领域。其中，电容式微机械超声换能器包括依次设置的金属振动薄膜、空腔支撑层、粘合层、绝缘层以及金属基底；所述空腔支撑层中形成若干个空腔；所述金属振动薄膜蚀刻有分割阵列沟槽，所...
该专利属于武汉理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过武汉理工大学授权不得商用。

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