电容式微机械超声换能器及其制作方法技术

本发明专利技术公开一种电容式微机械超声换能器及其制作方法，涉及超声换能器技术领域。其中，电容式微机械超声换能器包括依次设置的金属振动薄膜、空腔支撑层、粘合层、绝缘层以及金属基底；所述空腔支撑层中形成若干个空腔；所述金属振动薄膜蚀刻有分割阵列沟槽，所述分割阵列沟槽蚀刻至所述空腔支撑层。本申请能够实现超声换能器的柔性化设计，结构简单且成本低。结构简单且成本低。结构简单且成本低。

【技术实现步骤摘要】
电容式微机械超声换能器及其制作方法


[0001]本专利技术涉及超声换能器
，尤其涉及一种电容式微机械超声换能器及其制作方法。

技术介绍

[0002]电容式微机械超声波换能器(Capacitive Micro
‑
machined Ultrasonic transducer，CMUT)具有设计灵活、组成材料便于制造、材料低廉、带宽宽、灵敏度高、噪声低、阻抗匹配性好CMUT等许多优点，有效地弥补了压电式超声换能器的不足，因此，CMUT可以应用在各个不同的领域中，例如在医学诊测、水下探测与成像、无损检测等
都可以发挥重要作用。在汽车领域，自动驾驶受到越来越多研究人员的青睐，国外许多汽车制造商和技术公司都在测试具备完全自动驾驶功能的自动驾驶汽车，而超声波换能器在倒车、泊车雷达系统中是不可或缺的部件。将CMUT的工作频率控制在低频1～500kHz左右，与汽车结合，可以为汽车提供更多的道路实时信息，便于进行路障分析和障碍规避，这样可以满足车辆对于安全性、舒适性和操作性能越来越高的要求。
[0003]目前，CMUT主要是以本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电容式微机械超声换能器，其特征在于，包括依次设置的金属振动薄膜、空腔支撑层、粘合层、绝缘层以及金属基底；所述空腔支撑层中形成若干个空腔；所述金属振动薄膜蚀刻有分割阵列沟槽，所述分割阵列沟槽蚀刻至所述空腔支撑层。2.根据权利要求1所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，所述空腔支撑层的厚度为0.5～10微米，空腔支撑层中的空腔深度为0.5～10微米，空腔直径为20～10000微米。3.根据权利要求2所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，所述空腔支撑层的支撑部分为光刻胶。4.根据权利要求3所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，所述金属振动薄膜、所述粘合层以及所述空腔支撑层的支撑部分气密包覆形成所述空腔，所述空腔内的真空度为0～101.325千帕。5.根据权利要求4所述的电容式微机械超声换能器，其特征在于，所述绝缘层的厚度为0.5～5微米，所述金属振动薄膜厚度为3～15微米，所述金属基底的厚度为20～100微米，所述粘合层的厚度为0.5～5微米。6.一种电容式微机械超声换能器制作方法，其特征在于，包括以下步骤：取一片金属箔作为金属振动薄膜；将光刻胶涂在所述金属振动薄膜的一侧，并在所述金属振动薄膜一侧的光刻胶上进行曝光显影形成空腔支撑层；取另一片金属箔作为金属基底；将混合物溶液涂在所述金属基底上，加热烘干所述混合物溶液形成绝缘层；通过粘合层粘接所述金属振动薄膜上的空腔支撑层与所述金属基底上的绝缘层；将光刻胶涂在所述金属振动薄膜的另一侧，并在所述金属振动薄膜另一侧的光刻胶...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑庆祥，李英拓，金积德，王泽霖，杨婷婷，
申请(专利权)人：武汉理工大学，
类型：发明
国别省市：