下载测量激光器芯片用的夹具及制作方法的技术资料

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一种测量激光器芯片用的夹具,其特征在于,其中包括:一基板,该硅基板的上表面开有一V型沟槽,该V型沟槽的底部为一平面形的低台面;一金电极,该金电极制作在硅基板和V型沟槽的上表面上;一镀锡电极,该镀锡电极制作在V型沟槽的低台面上。...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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