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表面态驰豫区的半导体可饱和吸收镜制造技术
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下载表面态驰豫区的半导体可饱和吸收镜的技术资料
文档序号:3313994
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一种表面态驰豫区的半导体可饱和吸收镜,其特征在于,包括:一衬底;一缓冲层,该缓冲层制作在衬底上;一布拉格反射镜,该布拉格反射镜制作在缓冲层上,形成一高反射率的反射镜;一吸收区,该吸收区制作在布拉格反射镜上,采用常温生长的吸收区,非饱和损耗较...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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