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存储单元和具有该存储单元的半导体器件制造技术
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下载存储单元和具有该存储单元的半导体器件的技术资料
文档序号:33138765
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本公开提供了一种半导体器件,包括:存储单元阵列,其包括在基体衬底上竖直层叠的多个存储单元,其中,每个存储单元包括:位线,其相对于基体衬底竖直地取向;电容器,其与位线横向地间隔开;有源层,其在位线与电容器之间横向地取向;字线,其位于有源层的上...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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