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存储器设备制造技术
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文档序号:33138740
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本技术包括一种存储器设备。存储器设备包括:堆叠结构,该堆叠结构包括字线和选择线;垂直孔,该垂直孔垂直地穿透堆叠结构;以及存储器层、沟道层和插塞,存储器层、沟道层和插塞沿着垂直孔的内侧表面顺序地形成。插塞包括具有固定的负电荷的材料层。固定的负...
该专利属于爱思开海力士有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过爱思开海力士有限公司授权不得商用。
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