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本发明提供一种扩散炉，包括：反应腔室，沿第一方向延伸，反应腔室具有排气端，多个晶圆能够沿第一方向依次设置，晶圆表面沿第二方向延伸，第二方向与第一方向垂直或呈一锐角；多个气体管道，贯通反应腔室的侧壁，以将外部反应气体引入反应腔室，气体通道自排...
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