下载半导体器件、具有其的三维存储器及存储系统的技术资料

文档序号:33135952

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本申请提供了一种半导体器件、具有其的三维存储器及存储系统。该半导体器件包括:半导体衬底;多个晶体管结构,沿第一方向间隔设置于半导体衬底的一侧,各晶体管结构包括栅极、栅介质层和源/漏区,栅介质层和栅极层叠设置于半导体衬底表面,源/漏区位于栅极...
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