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无铝1.3μm铟砷/镓砷量子点激光器制造技术
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下载无铝1.3μm铟砷/镓砷量子点激光器的技术资料
文档序号:3313574
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一种无铝1.3μm铟砷/镓砷量子点激光器,包括:一基片;一缓冲层,该缓冲层制作在基片上;一下包层,该下包层制作在缓冲层上;一下波导层,该下波导层制作在下包层上;一量子点有源区,该量子点有源区制作在下波导层上;一上波导层,该上波导层制作在量子...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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