下载半导体结构的制作方法及半导体结构的技术资料

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本公开提供了一种半导体结构的制作方法及半导体结构,制作方法包括,提供初始结构,初始结构包括叠层结构,叠层结构包括交替叠置的初始栅间介质层和第一牺牲层,初始栅间介质层包括第一栅介质层、第二牺牲层以及第二栅介质层;在叠层结构中形成沟道槽,沟道槽...
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