下载光子晶体波导分布反馈激光器及制作方法的技术资料

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一种平面型光子晶体波导分布反馈激光器,其中包括:一衬底;一过渡层用金属有机化学气相淀积方法生长在衬底上;一InGaAsP下势垒层生长在过渡层上;一多量子阱有源区生长在InGaAsP下势垒层上;一InGaAsP上势垒层生长在多量子阱有源区上;...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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