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本发明提供了一种刷洗装置、晶圆、三维存储器及存储系统，刷洗装置用于刷洗晶圆，刷洗装置用于刷洗晶圆，刷洗装置包括：晶圆驱动部，晶圆驱动部与晶圆驱动连接以驱动晶圆转动；清洗刷组件，清洗刷组件包括多组清洗刷，多组清洗刷沿预定方向间隔布置，各组清洗...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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