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大出光孔垂直腔面发射半导体激光器的多芯电注入结构制造技术
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下载大出光孔垂直腔面发射半导体激光器的多芯电注入结构的技术资料
文档序号:3313341
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大出光孔垂直腔面发射半导体激光器的多芯电注入结构属于半导体激光器件技术领域。现有技术因载流子聚集效应以及趋肤效应,使得注入电流强度以及发光强度不均匀,器件性能和寿命受到影响。本发明之多芯电注入结构位于布拉格反射镜中的高铝层,在环形沟槽及其两...
该专利属于长春理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过长春理工大学授权不得商用。
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