下载氮化物半导体基板的加工方法的技术资料

文档序号:3313198

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在该氮化物半导体基板的加工方法中,首先,准备圆盘状的氮化物半导体基板(20),其具备多个条纹区域(12),该多个条纹区域(12)由晶体缺陷密度高于周围的单晶体区域(14)的缺陷集中区域构成。接着,以条纹区域(12)延伸的方向(ST)为基准,...
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