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本发明提供一种晶圆升降装置及工艺腔室，其中，晶圆升降装置用于工艺腔室，包括支撑组件、第一驱动部件和第二驱动部件，支撑组件用于可升降的穿设在工艺腔室的基座中，对基座上的晶圆进行升降；第一驱动部件的驱动端与支撑组件连接，用于直接驱动支撑组件升降...
该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。

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