下载铟砷/镓砷量子点的分子束外延生长方法的技术资料

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一种铟砷/镓砷量子点的分子束外延生长方法,是在镓砷基体上分子束外延沉积两层铟砷,通过调控变化第二层铟砷的沉积温度,控制量子点的发光波长;其特征在于,包括如下步骤:步骤1:选择一衬底;步骤2:在该衬底上生长一层厚的外延层;步骤3:在外延层上沉...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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