下载可调谐电吸收调制分布布拉格反射激光器的制作方法的技术资料

文档序号:3313164

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本发明涉及半导体激光器技术领域,特别是该器件内集成了电吸收调制器和分布布拉格反射半导体激光器的制作方法。其方法是结合了选区外延生长(SAG)和量子阱混杂技术(QWI)的优点,通过选区外延生长的方法形成器件的增益区和调制器区,用量子阱混杂技术...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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