下载镓砷基量子级联激光器管芯单元结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3313110

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一种镓砷基量子级联激光器管芯单元结构,包括:一衬底;一下覆盖层,该下覆盖层生长在衬底上;一下波导层,该下波导层生长在下覆盖层上,该下波导层的两侧形成有一低于中间部位的台阶,中间为脊形;一有源层,该有源层生长在下波导层上的中间部位;一上波导层...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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