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制做氮化镓基激光器倒装用热沉的方法技术
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文档序号:3312266
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一种制做氮化镓基激光器倒装用热沉的方法,其特征在于,该方法包括如下步骤:步骤1:取一衬底;步骤2:在衬底上蒸镀一层绝缘介质膜;步骤3:用光刻和腐蚀的方法将部分绝缘介质膜去掉,以用于制作激光器倒装的P型焊接电极;步骤4:在保留有绝缘介质膜的区...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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