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使用断层成像设备研究样品的方法技术
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文档序号:33080209
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使用断层成像设备研究样品的方法。一种使用断层成像研究样品的方法,其包括以下步骤:提供样品和源;将来自所述源的辐射束引导到所述样品;以及检测透射穿过所述样品的辐射通量。所述方法进一步包括以下步骤:移动所述样品和所述源中的至少一个以用于提供所述...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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