使用断层成像设备研究样品的方法技术

使用断层成像设备研究样品的方法。一种使用断层成像研究样品的方法，其包括以下步骤：提供样品和源；将来自所述源的辐射束引导到所述样品；以及检测透射穿过所述样品的辐射通量。所述方法进一步包括以下步骤：移动所述样品和所述源中的至少一个以用于提供所述源相对于所述样品的相对运动；以及沿着一系列不同检视轴线使所述样品成像，所述检视轴线与包围所述样品且大体上居中于其上的虚拟参考表面相交，其中所述移动和成像步骤的组合在所述虚拟参考表面上产生取样几何形状。如本文所定义，以使得所述取样几何形状包括多个间隔开的线段的方式协调所述移动和成像步骤。线段的方式协调所述移动和成像步骤。线段的方式协调所述移动和成像步骤。

【技术实现步骤摘要】
使用断层成像设备研究样品的方法
[0001]说明书本专利技术涉及一种使用断层成像设备研究样品的方法，其中提供样品和源，且来自所述源的辐射束被引导到所述样品。
[0002]本专利技术还涉及一种可用于执行此类方法的断层成像设备，以及一种配备有此类断层成像设备的带电粒子显微镜。
[0003]在如上文所提及的断层成像（也被称作计算机断层扫描（CT））中，源和（直径相对的）检测器用于沿着不同视线（检视轴线）查看样品，以便从各种视角获得样品的穿透性观察结果；这些观察结果随后用作数学程序的输入，所述数学程序产生样品（内部的）（一部分）的经重构“体积图像”。为实现本文中所提及的一系列不同视线，可例如选择：（a）保持源和检测器静止，并使样品相对于其移动；（b）保持样品静止，并使源相对于其移动。在此情况下，可选择：
‑
移动检测器，使其与源同步；或
‑
将检测器体现为子检测器的（静态）阵列，其中位置匹配成对应于待由源假定的不同位置。
[0004]无论源或样品是否移动，都有可能使用（例如）以样品为中心的坐标系或参考系来描述其相对运动。例如，对于本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种使用断层成像研究样品（S）的方法，其包括：
‑
提供样品（S）和源（Sx）；
‑
将来自所述源（Sx）的辐射束（B）引导到所述样品（S）；
‑
检测透射穿过所述样品（S）的辐射通量；
‑
移动所述样品（S）和所述源（Sx）中的至少一个以用于提供所述源（Sx）相对于所述样品（S）的相对运动；以及
‑
沿着一系列不同检视轴线（Vi）使所述样品（S）成像，所述检视轴线与包围所述样品且大体上居中于其上的虚拟参考表面（Sr）相交，其中所述移动和成像步骤的组合在所述虚拟参考表面（Sr）上产生取样几何形状（Gs）；其特征在于，以使得所述取样几何形状（Gs）包括多个间隔开的线段（Ls）的方式协调所述移动和成像步骤。2.根据权利要求1所述的方法，其中所述多个间隔开的线段（Ls）包括第一线段（Ls1）以及与所述第一线段（Ls1）间隔开的第二线段（Ls2）。3.根据权利要求1或2所述的方法，其包括使所述多个间隔开的线段（Ls）中的至少一个连续成像的步骤。4.根据权利要求1至3所述的方法，其包括中断在所述多个间隔开的线段（Ls）之间进行成像的步骤。5.根据权利要求1至4所述的方法，其中所述取样几何形状（Gs）包括所述间隔开的线段（Ls）的阵列（AL）。6.根据权利要求5所述的方法，其中所述阵列（AL）由间隔开的线段（Ls）的规则网格组成。7.根据权利要求1至6所述的方法，其中所述移动步骤包括在纵向（z）方向上和切向（θ）方向上的组合移动。8.根据权利要求7所述的方法，其中连续间隔开的线段（Ls）在所述纵向方向上展...

【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：FEI公司，
类型：发明
国别省市：