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本发明涉及抛光垫、抛光垫的制造方法及利用该抛光垫的半导体器件的制造方法，针对于上述抛光垫，制造抛光层时抛光组合物中包含未膨胀的(Unexpanded)固相发泡剂，并且，当进行固化工艺时，上述固相发泡剂发生膨胀，在抛光层中形成多个均匀的气孔，...
该专利属于SKC索密思株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过SKC索密思株式会社授权不得商用。

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