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本发明公开了一种硅片加工分片装置及其分片方法，涉及硅片加工技术领域，包括安装座和辅助组件，所述安装座左侧安装有水箱，且所述水箱内部安装有承托架，所述承托架外部安装有分片机构，所述承托架包括电动伸缩杆和拖物盘，且所述电动伸缩杆输出端连接有所述...
该专利属于朱秀洁所有，仅供学习研究参考，未经过朱秀洁授权不得商用。

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