下载半导体结构及其形成方法的技术资料

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一种半导体器件及其形成方法,所述半导体器件包括:半导体衬底,所述半导体衬底包括芯片区和围绕芯片区的控温区;位于所述控温区的珀尔帖器件,所述珀尔帖器件包括位于所述控温区的半导体衬底中且沿着所述芯片区边界方向交替排布的若干P型掺杂区和若干N型掺...
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