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本公开提供了一种磁性薄膜及其制备方法、磁隧道结器件，该薄膜包括：基片；平滑层，设置在基片上；钴基铁磁层，设置在平滑层上，具有体心立方结构，用于与平滑层晶格匹配；锰基反铁磁层，设置在钴基铁磁层上，用于诱导钴基铁磁层的垂直磁各向异性；覆盖层，设...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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