下载一种利用化学气相沉积法包覆阻燃性膜层的方法的技术资料

文档序号:33041750

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本发明公开一种利用化学气相沉积法包覆阻燃性膜层的方法,所述方法包括:(1)向反应器内通入惰性气体进行吹扫;(2)吹扫结束后,向反应器内通入由惰性气体稀释的硅基前驱体,真空条件下在基底材料表面沉积硅膜层。优选的,所述方法还包括继续向反应器中通...
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