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本发明提供一种光刻对准方法，先从多个对准标记中选取预设数量的对准标记作为目标组，然后根据所述目标组中的各所述对准标记的对准信号，判断所述目标组中的各所述对准标记的质量是否合格，然后将质量不合格的对准标记移除，以避免因对准标记的质量问题影响粗...
该专利属于广州粤芯半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州粤芯半导体技术有限公司授权不得商用。

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