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本实用新型提供了一种导波管组件及具有其的晶圆气相沉积设备。其中，导波管组件用于将位于等离子体源内的等离子体输送至反应室内，导波管组件包括：导波管，导波管的第一端用于与等离子体源连接，导波管的第二端用于与反应室连接；衬套，设置在导波管内，衬套...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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