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本实用新型提供一种结合真空吸附的静电吸附机构，所述结合真空吸附的静电吸附机构包括：静电吸盘、真空吸附电路、静电吸附电路以及控制器。通过在现有技术的真空吸附机构中，替换掉真空吸盘的材质，换成静电吸盘的材质，增加橡胶圈、电路以及控制器，制备成一...
该专利属于盛合晶微半导体（江阴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过盛合晶微半导体（江阴）有限公司授权不得商用。

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