下载压力控制阀、用于光刻设备的流体处理结构和光刻设备的技术资料

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一种压力控制阀,包括:通路(210),其具有限定用于使液体和/或气体(215)流动通过的开口(220)的部分;阻塞构件(230),其能够相对于所述开口移位,以将所述开口阻塞不同的量,由此调节通过所述开口的液体和/或气体的体积流率;压电致动器...
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