温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本文公开一种体声波谐振器的制备方法及制备装置，包括：在衬底材料上制备谐振振子和支撑锚；在谐振振子上制备第一材料层；图形化处理第一材料层获得阻断掩模；腐蚀性流体通过谐振振子的通孔流向衬底，以在衬底上刻蚀空腔；去除阻断掩模，获得体声波谐振器；其...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。