下载一种半导体可饱和吸收镜及其制备方法的技术资料

文档序号:32975244

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本发明提供一种半导体可饱和吸收镜及其制备方法,包括:衬底,依次叠设于衬底上的缓冲层、分布式布拉格反射镜层、下隔离层、应变补偿多量子阱层、上隔离层、下介质膜层、上介质膜层。其中应变补偿多量子阱层为张应变量子垒层和压应变量子阱层交叉叠设而成,应...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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