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本发明公开一种晶片承载盒的定位装置、预装载腔室及半导体工艺设备，定位装置(100)用于对装入预装载腔室内的晶片承载盒(200)进行定位，所述预装载腔室包括基座(110)，所述基座(110)用于承载所述晶片承载盒(200)，所述定位装置(10...该专利属于北京北方华创微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方华创微电子装备有限公司授权不得商用。
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本发明公开一种晶片承载盒的定位装置、预装载腔室及半导体工艺设备，定位装置(100)用于对装入预装载腔室内的晶片承载盒(200)进行定位，所述预装载腔室包括基座(110)，所述基座(110)用于承载所述晶片承载盒(200)，所述定位装置(10...