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本发明实施例公开了一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机存储介质;所述检测方法包括:基于采集的待测晶圆的图像,按照设定的条件将所述图像划分为多个检测区域;其中,所述采集到的待测晶圆的图像上包含有用于表征铜离子的白点;基于每个所述检测区域中...该专利属于西安奕斯伟设备技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过西安奕斯伟设备技术有限公司授权不得商用。
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