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本公开提供了一种晶圆生产参数获取方法、装置、设备以及存储介质，其中，该方法包括：根据机台中晶圆的位置标识和批次标识在映射表中查询目标晶圆的晶圆标识，根据晶圆标找到对应的生产参数获取计划表，再根据生产参数获取计划表中的各个参数的参数标识，从机...
该专利属于苏州赛美特科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州赛美特科技有限公司授权不得商用。

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