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文档序号:32968688

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STD芯片生产工艺,属于半导体技术领域。其特征是,将硅片分成两组处理,硅片A的磷扩散、硅片B的硼扩散同时进行,再将硅片A和硅片B进行键合,以缩短生产周期。本发明利用键合工艺将N
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