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一种用于传送晶圆的机械手臂和传送装置，其中所述机械手臂包括用于放置晶圆的末端，所述末端为圆环状。由于末端呈圆环状，当晶圆放置在末端上时，使得末端与晶圆底部一圈能均匀的接触，增大晶圆的受力面积，使得晶圆的受力较为均匀，防止晶圆破片。防止晶圆破...
该专利属于上海果纳半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海果纳半导体技术有限公司授权不得商用。

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