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本申请实施例提供一种刻蚀设备，包括依次连接的刻蚀腔室、第一真空泵、第一排气管、第二排气管以及第二真空泵，第二排气管可拆卸地连接于第一排气管与第二真空泵之间；其中：第二排气管具有连通的第一收集管段和第二收集管段，第一收集管段具有第一端口和第二...
该专利属于北京燕东微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京燕东微电子科技有限公司授权不得商用。

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