下载锭生长装置及其控制方法的技术资料

文档序号:32894006

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本发明涉及锭生长装置。本发明实施例的锭生长装置可包括:生长炉,在内部配置为了使锭生长而收容熔融硅的主坩埚;预备坩埚,通过接收固态硅材料来使其熔融,向上述主坩埚供给熔融硅;测定部,以贯通上述生长炉的方式设置,用于对上述主坩埚的熔融硅的表面高度...
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