下载半导体结构以及半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:32893176

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本发明实施例提供一种半导体结构以及半导体结构的形成方法,其中,半导体结构包括:基底,包括阵列区和外围区,外围区内具有第一隔离结构,阵列区内具有第二隔离结构,第一隔离结构的顶部开口面积大于第二隔离结构的顶部开口面积;第一隔离结构中具有第一凹槽...
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