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本发明公开了一种显影液组合物，所述显影液组合物包括有机胺、表面活性剂及有机溶剂，所述有机胺选自具有式Ⅰ、式Ⅱ或式Ⅲ结构的一种或多种有机胺。本发明的显影液，通过加入特定的有机胺，在确保分辨率的同时还可改善直线边缘的粗糙度及缺陷，扩大光刻工艺的...
该专利属于苏州润邦半导体材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州润邦半导体材料科技有限公司授权不得商用。

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