下载键合技术的键合能测试方法的技术资料

文档序号:32854064

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本申请实施例公开了键合技术的键合能测试方法,包括如下步骤:提供键合样品,键合样品包括互相键合的第一键合部以及第二键合部,第一键合部包括相背的第一表面和第二表面,第二键合部位于第二表面的中部;对键合样品施加压力:在第一表面向第一键合部施加第一...
该专利属于长江存储科技有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过长江存储科技有限责任公司授权不得商用。

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