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本发明提供一种基板位置检测方法，包括：保持具有多个基板要素的基板的工序(步骤S11)，多个所述基板要素分别由格子状的预定分割线划分为矩形；分别拍摄选自多个基板要素的两个以上的选择基板要素并获取两个以上的拍摄图像的工序(步骤S12)；使用标准...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

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