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文档序号:32852648

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本发明提供一种描画装置。第一移动机构(22a)在图案描画部(4)的下方在Y方向上水平移动第一载物台(21a)。第二移动机构(22b)在图案描画部(4)的下方在Y方向上水平移动第二载物台(21b)。第二移动机构(22b)在X方向上与第一移动机...
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